XRF中文称为X射线荧光光谱仪，它包括能量色散型X射线荧光光谱仪（EDXRF）和波长色散型X射线荧光光谱仪(WDXRF)，WDXRF在精度和准确度方面要比EDXRF好，价格也较高。目前市场上使用较多的是EDXRF。无论是哪种X射线荧光光谱仪，它都是利用荧光散射的原理探测样品中是否存在某种元素，所以具有方便、快捷、不破坏样品、省时省事的优点，非常适用于大批量原材料的验货分析。但它存在下述问题：
第一，XRF只能进行元素分析，而不能进行价态分析。即它的分析结果包括所有价态的元素总量。例如Cr的分析，它分辨不出材料中Cr是以金属Cr、三价铬还是六价铬的形式存在，只能给出总铬的含量。
第二，XRF受基体干扰非常严重。即材料的组成成分对结果影响很大。一般来说对单纯的材料，如PP、PE、PS、高纯度的金属等，XRF测试结果的误差范围为±30％甚至更低；对复合材料，如PC+ABS、PS+PE、各种合金（含量大于1％的元素超过2种），XRF测试结果的误差范围为 40～50％，材料越复杂误差越大。所以合金的测试结果误差一般要比复合塑胶的测试结果大。下面以 RoHS测试为例，对台式EDXRF测试结果X进行如下解释：
元素 单纯的塑胶材料 单纯的金属材料 复合材料
Cr X＜700ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜500ppm，可视为满足要求
X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 X＞500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析
Br X＜300ppm，可视为满足要求 —— X＜250ppm，可视为满足要求
X＞300ppm无法判断是否满足要求 —— X＞250ppm无法判断是否满足要求
Pb X＜700ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜500ppm，可视为满足要求
1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm＞X＞500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析
X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1500ppm可视为不满足要求
Hg X＜700ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜500ppm，可视为满足要求
1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm＞X＞500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析
X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1500ppm可视为不满足要求
Cd X＜70ppm，可视为满足要求 X＜700ppm，可视为满足要求 X＜70ppm，可视为满足要求
1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1300ppm＞X＞700ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析 1500ppm＞X＞500ppm无法判断是否满足要求，需进行化学分析
X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1300ppm可视为不满足要求 X＞1500ppm可视为不满足要求
从上述描述可知，XRF最适合用于材料是否符合法规要求的快速筛选，XRF的测试属于定性半定量测试，XRF的测试结果不能用于符合性判断的准确结果。
电子电器产品限制使用的六类有害物质
| 序号 | 指令限制的物质 | 使用该物质的例子 |
| 1 | 铅 Pb | 焊料、玻璃、PVC稳定剂、电池、易切削钢的部件、电子零件镀层、开关、电容器、二极管、振荡器、各种集成电路、电子元器件内部，热敏电阻封装、集电型红外探测器、热交换器。 |
| 2 | 水银（汞） Hg | 荧光灯管、HID气体放电等、液晶背光、激光模块、启动元件、贡开关、抗震传感器、灯泡等。 |
| 3 | 镉 Cd | 开关、继电器、恒温控制器、弹簧、连接器、外壳和PCB、触头、电池 |
| 4 | 六价铬 Cr Ⅵ | 金属附腐蚀涂层：螺丝、垫圈、螺母、PCM钢板、镀锌钢板、铝压铸件、灯泡电极、封装部件、电磁防护罩等。 |
| 5 | 多溴联苯 PBB | 阻燃剂，PCB、连接器、塑料外壳、电线电缆、通风装置、扼流圈、伺服放大器、编码器、激光变压器、线圈骨架、焊枪手柄等。 |